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OTL-PECVD-1200-1400-1200三温域PECVDシステム
製品説明：OTL-PECVD-1200-1400-1200の3台のスライド式真空管式炉、石英真空室、無線周波電源、GX給気システム、抽気システム、真空測定システム、電動ドラッグ機構からなる。
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