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製品の詳細
- 大流量気化
- LSC−A 100はTEOS 600 SCCM及びH 2 O 2 SLMなどの材料の安定気化を提供する
- すべてのデバイスのメンテナンスはデバイスのフロントエンドで行うことができます
- オプションのハンドヘルドPDAを使用してLSCの実行状態を監視し、実行ログを記録および分析
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