1.潤沢な全自動ウェハマーキング装置、5 W紫外半導体レーザを採用し、視覚的に位置決めする。

2.設備はタンタル酸リチウムとニオブ酸リチウムに適合し、4インチと6インチは適合し、ウエハ厚は0.2〜0.8 mmである。

3.設備はロボットによってウエハを吸着運搬し、花かごの中の25枚のウエハの自動出し入れ（4寸と6寸を満たす）を満たす。

4.設備は製品のマーキング精度を保証することができ、同時にOCR検査機能を備える。

5.人工-上下材料/ロボットハンド搬送/視覚位置決め/自動対中機構/光電端取り機構/水冷機/煙清浄機などの機能。