8型オリンパスウエハ検査システムの特徴

●適応範囲が広く、組み合わせが柔軟で、8インチオリンパスウエハ検査システムは高度な実用性と高度な信頼性を持っている。

●8インチオリンパスウェハ検査システム各種サイズのシリコンウェハを伝送

シリコンウェハのサイズに基づいて、AL 120シリーズウェハ検査システムには3種類の基本モデルがあり、シングル200 mm（AL 120-L 8）、150 mmと200 mm互換（AL 120-L 86）、シングル150 mmまたは以下のサイズ（AL 120-L 6）がある。いずれもシリコンシートを搬送するために顕微鏡検査を行っているために設計されている。表面マクロ検査と裏面マクロ検査は、さまざまなサイズのシリコンシートに適用することができます。

●8インチオリンパスウェハ検査システムは超薄型シリコンウェハを伝送することができ、即ち90 umまで薄い

より挑戦的な超薄型シリコンウェハに対応するため、オリンパスウェハ検査システムは特殊に伝送腕を設計し、25枚入りの200 mmケースと90 umまでの薄さのシリコンウェハに対応し、安全な伝送と顕微鏡検査を完了することができる。厚さの異なる10種類までのシリコンウェハ情報をパネルでプリセットすることができます。

●精密な能力、マクロ検査の機能強化

マクロ検査機能を備えた新型機台（LMB型）は360度自動回転してシリコンウェハの各面マクロ検査を完了する。この設計により、シリコンウェハの表裏に欠陥や粒子を容易に発見することができます。また、ロッキングレバーを用いてシリコンウェハを30度傾けることでマクロ検査を行うことができる。

●LCDディスプレイは精度と操作の利便性を提供する

LCDディスプレイはオペレータにより直感的な視覚感覚を提供し、オリンパスのウェハ検査システムの検査項目と順序がはっきりしており、設置調整に必要なパラメータも一目瞭然である。検査結果、操作者が入力したマクロとミクロを含む欠陥記号を一括してLCDディスプレイに表示することができ、操作者のレビューを容易にすることができる。

●精密な信頼性

シリコンウェハの安全性については、AL 120シリーズウェハ検査システムは、シリコンウェハの厚さとカートリッジ内の位置の2つの新しいシリコンウェハ検出方式を採用している。搬送前に、カートリッジ内のシリコンウェハの位置をスキャンします。選択したステージの自動ロック機能により、シリコンウェハの真空ステージへの輸送の安全性が向上した。

●強力で信頼性の高い顕微鏡

オリンパス半導体検査顕微鏡MX 61は、明場、暗場、微分干渉、赤外、深紫外の異なる観察方式により、高精細度と高解析の画像を表現することができる。電動対物レンズターンテーブルを搭載し、顕微鏡本体の開口光波と連動機能を持ち、対物レンズの切り替えごとに開口光波も自動的に変換される。

●SEMI S 2/S 8とRoHS規格に適合

AL 120シリーズウェハ検査システムの設計は伝送中のシリコンウェハの安全だけを重視するのではなく、操作者の安全も保証し、SEMIのS 2とS 8基準に完全に適合し、同時にRohs基準も満たしている。

8インチオリンパスウエハ検査システム技術仕様